Labore / Geodynamik / Geo Institut Uni Halle / MLU

Rasterelektronenmikroskopie

Die Rasterelektronenmikroskopie ist ein zentrales Analyseverfahren in den Geowissenschaften zur hochauflösenden Untersuchung von Festkörpern. Sie ermöglicht detaillierte Einblicke in Oberflächenstruktur, Gefüge, Mikrostruktur und Textur bis in den Nanometerbereich. In Kombination mit energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX), erlaubt das REM zudem eine qualitative und semi-quantitative chemische Charakterisierung von Mineralphasen und mittels Rückstreuelektronenbeugung (EBSD) können Kristallorientierungen analysiert werden. Kathodolumineszenz (CL) erlaubt höchstaufgelöste Bildgebung von Spurenelementverteilung und Defektstruktur. Das Verfahren findet Anwendung in Forschung und Lehre, unter anderem in der Strukturgeologie, Petrologie, Mineralogie, Sedimentologie und Materialcharakterisierung.

– 0,5 kV – 30 kV, 100 nA
– Niedervakuum-Bildgebung in N2 und H2O
– Everhart-Thornley/ET (Hochvakuum) und gasförmige/GSD (Niedervakuum) Sekundärelektronen-/SE-Detektoren
– Niederenergie-Rückstreuelektronen-/BSE-Detektor
– Energiefilterte, in-Säulen-Detektion und Low-kV-Bildgebung (Phasenkontrast und Topografie)
– CMOS-basierte, schnelle Elektronenrückstreubeugung/EBSD (Oxford Instruments Symmetry2)
– 100 mm2 energiedispersives Röntgenspektrometer/EDX (Oxford Instruments Ultimax 100)
– Kathodolumineszenz/CL (Delmic Sparc Compact), PMT (~200 nm – 850 nm), optional wellenlängengefiltert mit verschiedenen Bandpassfiltern (5–100 nm Breite), Hoch- oder Tiefpassfiltern
– Großflächige Panoramaaufnahme (Elektronenbilder, EDX, EBSD, CL)

– zerstörungsfreies Schneiden von Proben bei niedriger Geschwindigkeit
– Hochvakuum-Imprägnierung von Proben
– polierte Dünnschnitte oder in Harz eingebettete Proben (bis zu 1/4 µm Diamant), auch wasserfrei
– chemisches Polieren (kolloidales Siliziumdioxid)
– Hochvakuum-Kohlenstoffbeschichtung

Kontakt: ruediger.kilian@geo.uni-halle.de

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Technische Daten (FEG-SEM Tescan Clara)

Probenvorbreitung